连日来，位于武汉中德国际产业园的武汉半导体装备产业园招商负责人陈先锋忙个不停，隔一两天就有一拨客户到访。

“产业园还在建设中，一家半导体装备链主企业已签约。多家产业链配套企业实地考察后，入驻意愿强烈。”陈先锋说，产业园针对半导体装备制造要求量身定制厂房，厂房建成后企业可“拎包入住”。

武汉半导体装备产业园（一期）由蔡甸产业投资有限公司建设，总投资30亿元，规划建设12栋标准化厂房及1栋配套研发楼宇。园区首批2栋标准化厂房以及1栋设备用房正在建设中。

“园区厂房设计适配半导体装备、电子材料、光通信芯片组件等领域企业无尘车间改造，满足企业组装、调试、中试、检测全场景使用需求。”蔡甸产业投资有限公司副总经理李伟举例说，如已签约的半导体装备生产企业诺峰晶研半导体公司属于高精密制造，厂房在荷载、层高、功能布局、工艺流线等方面做了定制化设计。厂房完工后，园区还将为企业代建车间净化系统。

今年3月，总部位于深圳的诺峰晶研半导体公司签约武汉半导体装备产业园，预订6栋厂房。7月，诺峰晶研半导体公司首款产品化学机械抛光机在产业园旁临时租赁的厂房内量产。公司总裁李洪福介绍，明年产业园建成公司入驻后，将落地研磨、原子层沉积、清洗、刻蚀、光刻等半导体前道全系列核心装备生产线。

据悉，武汉半导体装备产业园（一期）建成后预计可容纳50余家企业。占地380亩的二期项目已进入前期准备阶段。

目前，中德国际产业园已聚集诺峰晶研半导体、华彩光电、宇轩飞速等半导体装备上下游企业，涵盖工业母机、关键材料、芯片设计及封装配套。

编辑：赖俊